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Scatterometry Overlay (SCOL?) Measurement of Small Cell Target Using Pupil Optimization
Itay Gdor, Einat Nagar,Tal Yaziv, Yunhua Wu,Eitan Hajaj, Yuval Lubashevsky,Daria Negri
METROLOGY, INSPECTION, AND PROCESS CONTROL XXXVII (2023)
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Parallax Method for Diffraction-Based Single-Cell Overlay and Film Thickness Measurement
Mordecai Kot,Yuval Lamhot, Alon Yagil,Tal Yaziv,Nadav Gutman,Renan Milo
METROLOGY, INSPECTION, AND PROCESS CONTROL XXXVII (2023)
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Single Weighted Overlay Optimizer for Scatterometry Metrology
Alon Yagil,Rawi Dirawi, Weiling Lin, Alon Volfman,Yevgeniy Men,Renan Milo,Tal Yaziv,Yuval Lamhot
Metrology, Inspection, and Process Control for Semiconductor Manufacturing XXXV (2021)
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Accuracy in optical overlay metrology
Barak Bringoltz,Tal Marciano,Tal Yaziv,Yaron DeLeeuw,Dana Klein,Yoel Feler,Ido Adam, Evgeni Gurevich, Noga Sella, Ze’ev Lindenfeld,Tom Leviant, Lilach Saltoun, Eltsafon Ashwal, Dror Alumot,Yuval Lamhot,Xindong Gao,James Manka, Bryan Chen,Mark Wagner
Proceedings of SPIE（2016）
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