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Electrochemical Society Transactionsno. 2 (2021): 19-28
Y. Kim,S-C Seo,S. Consiglio,P. Jamison, H. Higuchi,M. Rasch,E. Y. Wu,D. Kong,I Saraf,C. Catano,R. Muralidhar,S. Nguyen, S. DeVries,O. Van der Straten,M. Sankarapandian,R. N. Pujari,A. Gasasira, S. M. Mcdermott,H. Miyazoe, D. Koty, Q. Yang, H. Yan,R. Clark,K. Tapily,S. Engelmann, R. R. Robison,C. Wajda,A. Mosden,T. Tsunomura, R. Soave,N. Saulnier,W. Haensch,G. Leusink, P. Biolsi,V Narayanan,T. Ando
J. Li,Y. Kim,D. Kong,K. Cheng,S. -C. Seo, C. Robinson,N. Saulnier, R. R. Robison, A. J. Varghese,I. Ahsan,R. Muralidhar,T. Ando,V. Narayanan
Proceedings - International Symposium for Testing and Failure Analysis (2020)
Advanced Etch Technology for Nanopatterning IX (2020)
Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXIV (2020)
Proceedings of SPIE (2019)
J. Zhang,J. Frougier,A. Greene,X. Miao,L. Yu,R. Vega, P. Montanini,C. Durfee,A. Gaul,S. Pancharatnam, C. Adams,H. Wu,H. Zhou,T. Shen,R. Xie,M. Sankarapandian,J. Wang,K. Watanabe,R. Bao, X. Liu, C. Park, H. Shobha,P. Joseph,D. Kong, A. Arceo De La Pena, J. Li,R. Conti,D. Dechene,N. Loubet,R. Chao,T. Yamashita,R. Robison,V. Basker, K. Zhao,D. Guo,B. Haran,R. Divakaruni,H. Bu
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