按年份排序按引用量排序主题筛选期刊级别筛选合作者筛选合作机构筛选
时间
引用量
主题
期刊级别
合作者
合作机构
OPTICAL AND EUV NANOLITHOGRAPHY XXXVII (2024)
H. Abu-Shawareb, R. Acree,P. Adams, J. Adams,B. Addis, R. Aden,P. Adrian,B. B. Afeyan, M. Aggleton,L. Aghaian, A. Aguirre, D. Aikens, J. Akre,F. Albert, M. Albrecht,B. J. Albright,J. Albritton, J. Alcala, C. Alday, D. A. Alessi, N. Alexander, J. Alfonso,N. Alfonso,E. Alger,S. J. Ali,Z. A. Ali, A. Allen,W. E. Alley, P. Amala,P. A. Amendt, P. Amick, S. Ammula, C. Amorin, D. J. Ampleford,R. W. Anderson,T. Anklam,N. Antipa,B. Appelbe, C. Aracne-Ruddle, E. Araya,T. N. Archuleta,M. Arend,P. Arnold, T. Arnold, A. Arsenlis,J. Asay,L. J. Atherton, D. Atkinson, R. Atkinson, M. Auerbach, B. Austin, L. Auyang, A. A. S. Awwal,N. Aybar,J. Ayers,S. Ayers,T. Ayers,S. Azevedo,B. Bachmann, C. A. Back,J. Bae,D. S. Bailey, J. Bailey, T. Baisden,K. L. Baker, H. Baldis, D. Barber, M. Barberis, D. Barker,A. Barnes,C. W. Barnes,M. A. Barrios,C. Barty,I. Bass, S. H. Batha,S. H. Baxamusa,G. Bazan, J. K. Beagle,R. Beale,B. R. Beck,J. B. Beck, M. Bedzyk,R. G. Beeler,W. Behrendt, L. Belk,P. Bell,M. Belyaev, J. F. Benage, G. Bennett,L. R. Benedetti,L. X. Benedict, L. Berger,T. Bernat,L. A. Bernstein, B. Berry,L. Bertolini, G. Besenbruch,J. Betcher,R. Bettenhausen,R. Betti,B. Bezzerides,S. D. Bhandarkar,R. Bickel,J. Biener,T. Biesiada, K. Bigelow, J. Bigelow-Granillo,V. Bigman, R. M. Bionta,N. W. Birge,M. Bitter, A. C. Black, R. Bleile,D. L. Bleuel,E. Bliss,B. Blue, T. Boehly,K. Boehm,C. D. Boley, R. Bonanno, E. J. Bond,T. Bond,M. J. Bonino,M. Borden,J. -L. Bourgade, J. Bousquet,J. Bowers,M. Bowers,R. Boyd, D. Boyle, A. Bozek,D. K. Bradley,K. S. Bradley,P. A. Bradley, L. Bradley, L. Brannon, P. S. Brantley, D. Braun, T. Braun, K. Brienza-Larsen,R. Briggs,T. M. Briggs,J. Britten, E. D. Brooks,D. Browning,M. W. Bruhn,T. A. Brunner, H. Bruns,G. Brunton, B. Bryant,T. Buczek,J. Bude, L. Buitano,S. Burkhart, J. Burmark,A. Burnham,R. Burr,L. E. Busby, B. Butlin, R. Cabeltis,M. Cable,W. H. Cabot, B. Cagadas, J. Caggiano, R. Cahayag,S. E. Caldwell, S. Calkins,D. A. Callahan, J. Calleja-Aguirre,L. Camara,D. Camp, E. M. Campbell,J. H. Campbell, B. Carey,R. Carey,K. Carlisle, L. Carlson,L. Carman, J. Carmichael,A. Carpenter,C. Carr,J. A. Carrera,D. Casavant,A. Casey,D. T. Casey, A. Castillo, E. Castillo,J. I. Castor,C. Castro, W. Caughey, R. Cavitt,J. Celeste, P. M. Celliers,C. Cerjan, G. Chandler, B. Chang, C. Chang, J. Chang, L. Chang, R. Chapman, T. D. Chapman, L. Chase, H. Chen, K. Chen, L. -Y. Chen, B. Cheng, J. Chittenden,C. Choate,J. Chou, R. E. Chrien, M. Chrisp,K. Christensen, M. Christensen,N. S. Christiansen,A. R. Christopherson, M. Chung,J. A. Church, A. Clark,D. S. Clark, K. Clark, R. Clark,L. Claus,B. Cline, J. A. Cline,J. A. Cobble, K. Cochrane, B. Cohen, S. Cohen, M. R. Collette,G. W. Collins, L. A. Collins, T. J. B. Collins,A. Conder,B. Conrad, M. Conyers, A. W. Cook, D. Cook, R. Cook, J. C. Cooley, G. Cooper, T. Cope,S. R. Copeland,F. Coppari,J. Cortez, J. Cox,D. H. Crandall,J. Crane,R. S. Craxton,M. Cray,A. Crilly,J. W. Crippen,D. Cross,M. Cuneo, G. Cuotts, C. E. Czajka,D. Czechowicz, T. Daly, P. Danforth,C. Danly, R. Darbee,B. Darlington,P. Datte,L. Dauffy, G. Davalos,S. Davidovits, P. Davis, J. Davis,S. Dawson,R. D. Day, T. H. Day,M. Dayton,C. Deck, C. Decker, C. Deeney, K. A. DeFriend,G. Deis,N. D. Delamater,J. A. Delettrez,R. Demaret, S. Demos, S. M. Dempsey, R. Desjardin,T. Desjardins, M. P. Desjarlais,E. L. Dewald,J. DeYoreo, S. Diaz, G. Dimonte,T. R. Dittrich,L. Divol,S. N. Dixit, J. Dixon,A. Do,E. S. Dodd, D. Dolan, A. Donovan, M. Donovan,T. Doppner,C. Dorrer,N. Dorsano,M. R. Douglas,D. Dow, J. Downie, E. Downing,M. Dozieres, V. Draggoo, D. Drake, R. P. Drake, T. Drake,G. Dreifuerst,O. Drury,F. DuBois,P. F. DuBois,G. Dunham,M. Durocher, R. Dylla-Spears, A. K. L. Dymoke-Bradshaw,B. Dzenitis,C. Ebbers, M. Eckart,S. Eddinger,D. Eder,D. Edgell, M. J. Edwards, P. Efthimion, J. H. Eggert,B. Ehrlich, P. Ehrmann,S. Elhadj, C. Ellerbee,N. S. Elliott,C. L. Ellison, F. Elsner,M. Emerich,K. Engelhorn,T. England,E. English, P. Epperson, R. Epstein,G. Erbert,M. A. Erickson,D. J. Erskine,A. Erlandson, R. J. Espinosa,C. Estes,K. G. Estabrook, S. Evans, A. Fabyan,J. Fair,R. Fallejo,N. Farmer,W. A. Farmer,M. Farrell,V. E. Fatherley,M. Fedorov,E. Feigenbaum,T. Fehrenbach,M. Feit,B. Felker,W. Ferguson,J. C. Fernandez, A. Fernandez-Panella,S. Fess,J. E. Field, C. V. Filip,J. R. Fincke,T. Finn, S. M. Finnegan, R. G. Finucane, M. Fischer, A. Fisher, J. Fisher,B. Fishler,D. Fittinghoff,P. Fitzsimmons,M. Flegel,K. A. Flippo,J. Florio,J. Folta,P. Folta,L. R. Foreman,C. Forrest, A. Forsman,J. Fooks, M. Foord, R. Fortner,K. Fournier,D. E. Fratanduono, N. Frazier,T. Frazier, C. Frederick,M. S. Freeman,J. Frenje, D. Frey,G. Frieders,S. Friedrich, D. H. Froula,J. Fry, T. Fuller,J. Gaffney,S. Gales, B. Le Galloudec,K. K. Le Galloudec,A. Gambhir, L. Gao,W. J. Garbett, A. Garcia,C. Gates, E. Gaut,P. Gauthier,Z. Gavin,J. Gaylord, C. G. R. Geddes,M. Geissel, F. Genin, J. Georgeson, H. Geppert-Kleinrath, V. Geppert-Kleinrath,N. Gharibyan, J. Gibson, C. Gibson, E. Giraldez,V. Glebov, S. G. Glendinning,S. Glenn, S. H. Glenzer, S. Goade, P. L. Gobby,S. R. Goldman,B. Golick, M. Gomez,V. Goncharov,D. Goodin,P. Grabowski,E. Grafil, P. Graham,J. Grandy,E. Grasz,F. R. Graziani, G. Greenman,J. A. Greenough, A. Greenwood,G. Gregori, T. Green, J. R. Griego,G. P. Grim,J. Grondalski, S. Gross, J. Guckian,N. Guler,B. Gunney,G. Guss,S. Haan, J. Hackbarth,L. Hackel,R. Hackel,C. Haefner,C. Hagmann,K. D. Hahn, S. Hahn,B. J. Haid,B. M. Haines, B. M. Hall, C. Hall,G. N. Hall,M. Hamamoto,S. Hamel,C. E. Hamilton, B. A. Hammel,J. H. Hammer,G. Hampton,A. Hamza,A. Handler, S. Hansen, D. Hanson,R. Haque,D. Harding,E. Harding, J. D. Hares,D. B. Harris,J. A. Harte,E. P. Hartouni,R. Hatarik, S. Hatchett,A. A. Hauer,M. Havre,R. Hawley, J. Hayes,S. Hayes,A. Hayes-Sterbenz,C. A. Haynam,D. A. Haynes,D. Headley, A. Heal,J. E. Heebner, S. Heerey,G. M. Heestand,R. Heeter,N. Hein,C. Heinbockel, C. Hendricks,M. Henesian, J. Heninger, J. Henrikson, E. A. Henry,E. B. Herbold,M. R. Hermann,G. Hermes,J. E. Hernandez, V. J. Hernandez,M. C. Herrmann, H. W. Herrmann,O. D. Herrera, D. Hewett,R. Hibbard, D. G. Hicks,D. P. Higginson, D. Hill, K. Hill,T. Hilsabeck,D. E. Hinkel,D. D. Ho, V. K. Ho,J. K. Hoffer,N. M. Hoffman,M. Hohenberger, M. Hohensee, W. Hoke, D. Holdener,F. Holdener,J. P. Holder, B. Holko, D. Holunga,J. F. Holzrichter,J. Honig, D. Hoover,D. Hopkins,L. F. Berzak Hopkins,M. Hoppe,M. L. Hoppe,J. Horner, R. Hornung,C. J. Horsfield,J. Horvath, D. Hotaling, R. House, L. Howell,W. W. Hsing,S. X. Hu, H. Huang, J. Huckins,H. Hui,K. D. Humbird,J. Hund, J. Hunt,O. A. Hurricane, M. Hutton, K. H. -K. Huynh, L. Inandan,C. Iglesias,I. V. Igumenshchev, I. Ivanovich,N. Izumi, M. Jackson, J. Jackson, S. D. Jacobs, G. James, K. Jancaitis,J. Jarboe,L. C. Jarrott,D. Jasion,J. Jaquez,J. Jeet, A. E. Jenei, J. Jensen, J. Jimenez, R. Jimenez,D. Jobe, Z. Johal,H. M. Johns, D. Johnson, M. A. Johnson,M. Gatu Johnson, R. J. Johnson,S. Johnson,S. A. Johnson, T. Johnson, K. Jones,O. Jones, M. Jones, R. Jorge,H. J. Jorgenson, M. Julian, B. I. Jun,R. Jungquist,J. Kaae,N. Kabadi, D. Kaczala,D. Kalantar,K. Kangas,V. V. Karasiev,M. Karasik, V. Karpenko, A. Kasarky, K. Kasper,R. Kauffman, M. I. Kaufman, C. Keane, L. Keaty,L. Kegelmeyer,P. A. Keiter,P. A. Kellett,J. Kellogg, J. H. Kelly, S. Kemic,A. J. Kemp,G. E. Kemp,G. D. Kerbel, D. Kershaw,S. M. Kerr, T. J. Kessler, M. H. Key,S. F. Khan, H. Khater, C. Kiikka, J. Kilkenny, Y. Kim, Y. -J. Kim, J. Kimko,M. Kimmel,J. M. Kindel, J. King, R. K. Kirkwood,L. Klaus,D. Klem,J. L. Kline,J. Klingmann,G. Kluth,P. Knapp,J. Knauer, J. Knipping, M. Knudson, D. Kobs, J. Koch,T. Kohut,C. Kong,J. M. Koning, P. Koning, S. Konior, H. Kornblum,L. B. Kot,B. Kozioziemski,M. Kozlowski, P. M. Kozlowski,J. Krammen,N. S. Krasheninnikova,C. M. Krauland,B. Kraus, W. Krauser, J. D. Kress,A. L. Kritcher, E. Krieger,J. J. Kroll,W. L. Kruer,M. K. G. Kruse,S. Kucheyev, M. Kumbera,S. Kumpan,J. Kunimune,E. Kur,B. Kustowski,T. J. T. Kwan,G. A. Kyrala,S. Laffite, M. Lafon, K. LaFortune, L. Lagin,B. Lahmann, B. Lairson, O. L. Landen,T. Land,M. Lane, D. Laney,A. B. Langdon, J. Langenbrunner,S. H. Langer, A. Langro,N. E. Lanier,T. E. Lanier,D. Larson,B. F. Lasinski, D. Lassle,D. LaTray, G. Lau, N. Lau,C. Laumann,A. Laurence,T. A. Laurence, J. Lawson,H. P. Le, R. R. Leach, L. Leal,A. Leatherland,K. LeChien, B. Lechleiter, A. Lee, M. Lee, T. Lee,R. J. Leeper,E. Lefebvre,J. -P. Leidinger,B. LeMire, R. W. Lemke,N. C. Lemos,S. Le Pape, R. Lerche, S. Lerner, S. Letts, K. Levedahl, T. Lewis, C. K. Li, H. Li, J. Li,W. Liao, Z. M. Liao,D. Liedahl,J. Liebman, G. Lindford,E. L. Lindman,J. D. Lindl,H. Loey, R. A. London, F. Long,E. N. Loomis,F. E. Lopez,H. Lopez, E. Losbanos,S. Loucks, R. Lowe-Webb, E. Lundgren,A. P. Ludwigsen, R. Luo,J. Lusk,R. Lyons, T. Ma, Y. Macallop,M. J. MacDonald,B. J. MacGowan,J. M. Mack,A. J. Mackinnon, S. A. MacLaren, A. G. MacPhee,G. R. Magelssen,J. Magoon, R. M. Malone, T. Malsbury, R. Managan,R. Mancini,K. Manes, D. Maney,D. Manha,O. M. Mannion,A. M. Manuel,M. J. -E. Manuel,E. Mapoles,G. Mara,T. Marcotte,E. Marin,M. M. Marinak,D. A. Mariscal, E. F. Mariscal, E. V. Marley,J. A. Marozas, R. Marquez,C. D. Marshall,F. J. Marshall, M. Marshall, S. Marshall,J. Marticorena,J. I. Martinez, D. Martinez, I. Maslennikov, D. Mason,R. J. Mason,L. Masse,W. Massey, P. -E. Masson-Laborde,N. D. Masters,D. Mathisen, E. Mathison, J. Matone,M. J. Matthews,C. Mattoon,T. R. Mattsson, K. Matzen,C. W. Mauche,M. Mauldin, T. McAbee, M. McBurney,T. Mccarville, R. L. McCrory,A. M. McEvoy,C. McGuffey, M. Mcinnis,P. McKenty,M. S. McKinley, J. B. McLeod, A. McPherson,B. Mcquillan, M. Meamber,K. D. Meaney,N. B. Meezan,R. Meissner, T. A. Mehlhorn,N. C. Mehta, J. Menapace,F. E. Merrill,B. T. Merritt, E. C. Merritt,D. D. Meyerhofer,S. Mezyk, R. J. Mich,P. A. Michel,D. Milam, C. Miller,D. Miller,D. S. Miller,E. Miller,E. K. Miller, J. Miller, M. Miller,P. E. Miller, T. Miller, W. Miller, V. Miller-Kamm,M. Millot,J. L. Milovich, P. Minner, J. -L. Miquel, S. Mitchell,K. Molvig, R. C. Montesanti, D. S. Montgomery,M. Monticelli, A. Montoya, J. D. Moody,A. S. Moore, E. Moore,M. Moran,J. C. Moreno, K. Moreno,B. E. Morgan,T. Morrow,J. W. Morton,E. Moses,K. Moy, R. Muir,M. S. Murillo, J. E. Murray,J. R. Murray,D. H. Munro,T. J. Murphy,F. M. Munteanu, J. Nafziger,T. Nagayama,S. R. Nagel, R. Nast,R. A. Negres, A. Nelson, D. Nelson, J. Nelson, S. Nelson, S. Nemethy, P. Neumayer,K. Newman,M. Newton, H. Nguyen,J. -M. G. Di Nicola,P. Di Nicola, C. Niemann,A. Nikroo,P. M. Nilson,A. Nobile, V. Noorai,R. C. Nora,M. Norton,M. Nostrand, V. Note, S. Novell, P. F. Nowak, A. Nunez, R. A. Nyholm, M. O'Brien, A. Oceguera,J. A. Oertel, A. L. Oesterle,J. Okui,B. Olejniczak, J. Oliveira, P. Olsen,B. Olson, K. Olson,R. E. Olson,Y. P. Opachich,N. Orsi,C. D. Orth, M. Owen,S. Padalino, E. Padilla,R. Paguio,S. Paguio,J. Paisner,S. Pajoom,A. Pak,S. Palaniyappan, K. Palma, T. Pannell, F. Papp, D. Paras, T. Parham, H. -S. Park,A. Pasternak,S. Patankar,M. V. Patel,P. K. Patel, R. Patterson,S. Patterson, B. Paul, M. Paul, E. Pauli,O. T. Pearce,J. Pearcy, A. Pedretti, B. Pedrotti,A. Peer,L. J. Pelz,B. Penetrante,J. Penner, A. Perez,L. J. Perkins, E. Pernice,T. S. Perry,S. Person, D. Petersen,T. Petersen,D. L. Peterson, E. B. Peterson, J. E. Peterson,J. L. Peterson,K. Peterson,R. R. Peterson,R. D. Petrasso,F. Philippe, D. Phillion, T. J. Phipps, E. Piceno,L. Pickworth,Y. Ping,J. Pino,K. Piston,R. Plummer,G. D. Pollack,S. M. Pollaine,B. B. Pollock, D. Ponce, J. Ponce,J. Pontelandolfo, J. L. Porter, J. Post,O. Poujade,C. Powell,H. Powell,G. Power, M. Pozulp,M. Prantil, M. Prasad,S. Pratuch, S. Price, K. Primdahl,S. Prisbrey, R. Procassini,A. Pruyne,B. Pudliner,S. R. Qiu,K. Quan,M. Quinn, J. Quintenz, P. B. Radha,F. Rainer,J. E. Ralph,K. S. Raman, R. Raman, P. W. Rambo,S. Rana, A. Randewich, D. Rardin,M. Ratledge,N. Ravelo,F. Ravizza, M. Rayce, A. Raymond,B. Raymond, B. Reed, C. Reed,S. Regan,B. Reichelt, V. Reis,S. Reisdorf,V. Rekow, B. A. Remington,A. Rendon,W. Requieron,M. Rever, H. Reynolds, J. Reynolds, J. Rhodes,M. Rhodes, M. C. Richardson,B. Rice,N. G. Rice,R. Rieben,A. Rigatti, S. Riggs,H. G. Rinderknecht, K. Ring,B. Riordan,R. Riquier,C. Rivers, D. Roberts,V. Roberts, G. Robertson, H. F. Robey, J. Robles, P. Rocha,G. Rochau, J. Rodriguez, S. Rodriguez,M. D. Rosen, M. Rosenberg, G. Ross,J. S. Ross, P. Ross, J. Rouse,D. Rovang,A. M. Rubenchik,M. S. Rubery,C. L. Ruiz,M. Rushford,B. Russ,J. R. Rygg, B. S. Ryujin,R. A. Sacks,R. F. Sacks, K. Saito, T. Salmon,J. D. Salmonson, J. Sanchez,S. Samuelson, M. Sanchez,C. Sangster,A. Saroyan,J. Sater, A. Satsangi, S. Sauers,R. Saunders,J. P. Sauppe,R. Sawicki,D. Sayre, M. Scanlan,K. Schaffers,G. T. Schappert,S. Schiaffino,D. J. Schlossberg,D. W. Schmidt,P. F. Schmit,J. M. Smidt,D. H. G. Schneider, M. B. Schneider, R. Schneider,M. Schoff, M. Schollmeier,C. R. Schroeder, S. E. Schrauth,H. A. Scott, I. Scott,J. M. Scott,R. H. H. Scott,C. R. Scullard,T. Sedillo,F. H. Seguin,W. Seka, J. Senecal,S. M. Sepke,L. Seppala,K. Sequoia, J. Severyn, J. M. Sevier, N. Sewell,S. Seznec,R. C. Shah, J. Shamlian, D. Shaughnessy, M. Shaw, R. Shaw, C. Shearer,R. Shelton, N. Shen,M. W. Sherlock,A. I. Shestakov,E. L. Shi,S. J. Shin,N. Shingleton,W. Shmayda, M. Shor,M. Shoup,C. Shuldberg, L. Siegel, F. J. Silva,A. N. Simakov, B. T. Sims, D. Sinars, P. Singh,H. Sio,K. Skulina, S. Skupsky,S. Slutz, M. Sluyter,V. A. Smalyuk,D. Smauley, R. M. Smeltser, C. Smith, I. Smith, J. Smith, L. Smith, R. Smith,M. Scholmerich, R. Sohn,S. Sommer,C. Sorce,M. Sorem, J. M. Soures,M. L. Spaeth,B. K. Spears,S. Speas,D. Speck,R. Speck, J. Spears,T. Spinka,P. T. Springer,M. Stadermann, B. Stahl,J. Stahoviak, J. Stanley,L. G. Stanton, R. Steele,W. Steele,D. Steinman, R. Stemke, R. Stephens, S. Sterbenz,P. Sterne,D. Stevens, J. Stevers,C. H. Still,C. Stoeckl, W. Stoeffl,J. S. Stolken,C. Stolz,E. Storm,G. Stone,S. Stoupin,E. Stout, I. Stowers,R. Strauser, H. Streckart,J. Streit,D. J. Strozzi, J. Stutz, L. Summers, T. Suratwala,G. Sutcliffe, L. J. Suter,S. B. Sutton,V. Svidzinski,G. Swadling,W. Sweet,A. Szoke,M. Tabak, M. Takagi,A. Tambazidis,V. Tang,M. Taranowski, L. A. Taylor,S. Telford,W. Theobald,M. Thi,A. Thomas, C. A. Thomas,I. Thomas, R. Thomas, I. J. Thompson, A. Thongstisubskul,C. B. Thorsness, G. Tietbohl, R. E. Tipton, M. Tobin, N. Tomlin,R. Tommasini, A. J. Toreja, J. Torres,R. P. J. Town,S. Townsend, J. Trenholme, A. Trivelpiece,C. Trosseille, H. Truax,D. Trummer,S. Trummer, T. Truong, D. Tubbs,E. R. Tubman, T. Tunnell,D. Turnbull,R. E. Turner, M. Ulitsky, R. Upadhye, J. L. Vaher,P. VanArsdall,D. VanBlarcom,M. Vandenboomgaerde, R. VanQuinlan,B. M. Van Wonterghem,W. S. Varnum, A. L. Velikovich,A. Vella, C. P. Verdon,B. Vermillion, S. Vernon,R. Vesey, J. Vickers,R. M. Vignes, M. Visosky, J. Vocke, P. L. Volegov,S. Vonhof, R. Von Rotz, H. X. Vu, M. Vu, D. Wall,J. Wall, R. Wallace, B. Wallin,D. Walmer,C. A. Walsh,C. F. Walters,C. Waltz,A. Wan, A. Wang, Y. Wang,J. S. Wark,B. E. Warner, J. Watson, R. G. Watt,P. Watts, J. Weaver,R. P. Weaver,S. Weaver,C. R. Weber, P. Weber,S. V. Weber,P. Wegner,B. Welday, L. Welser-Sherrill,K. Weiss, K. B. Wharton, G. F. Wheeler, W. Whistler,R. K. White,H. D. Whitley, P. Whitman, M. E. Wickett,K. Widmann, C. Widmayer, J. Wiedwald, R. Wilcox, S. Wilcox, C. Wild,B. H. Wilde,C. H. Wilde,K. Wilhelmsen,M. D. Wilke, H. Wilkens, P. Wilkins, S. C. Wilks,E. A. Williams, G. J. Williams,W. Williams,W. H. Williams,D. C. Wilson, B. Wilson, E. Wilson, R. Wilson,S. Winters, P. J. Wisoff,M. Wittman, J. Wolfe, A. Wong,K. W. Wong, L. Wong,N. Wong, R. Wood, D. Woodhouse, J. Woodruff,D. T. Woods, S. Woods,B. N. Woodworth, E. Wooten, A. Wootton,K. Work,J. B. Workman, J. Wright, M. Wu,C. Wuest, F. J. Wysocki, H. Xu, M. Yamaguchi, B. Yang,S. T. Yang,J. Yatabe,C. B. Yeamans, B. C. Yee,S. A. Yi, L. Yin, B. Young,C. S. Young,C. V. Young, P. Young,K. Youngblood, J. Yu,R. Zacharias,G. Zagaris, N. Zaitseva, F. Zaka,F. Ze,B. Zeiger,M. Zika,G. B. Zimmerman,T. Zobrist, J. D. Zuegel,A. B. Zylstra
PHYSICAL REVIEW LETTERSno. 6 (2024)
Journal of Computational and Theoretical Transportno. 3 (2023): 221-245
INTERNATIONAL CONFERENCE ON EXTREME ULTRAVIOLET LITHOGRAPHY 2023 (2023)
Optical and EUV Nanolithography XXXV (2022)
Hazem Mesilhy,Peter Evanschitzky,Gerardo Bottiglieri,Eelco van Setten,Claire van Lare,Tim Brunner, Mark van de Kerkhof,Andreas Erdmann
International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2021 (2021)
加载更多