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研究领域
集成电路三维集成关键工艺、可制造性建模与仿真技术等,嵌入式微流体散热技术,TSV三维集成在射频、光电、植入微系统等应用研究等,PMUT及应用、微流控芯片、微纳机器人等。
集成电路三维集成关键工艺、可制造性建模与仿真技术等,嵌入式微流体散热技术,TSV三维集成在射频、光电、植入微系统等应用研究等,PMUT及应用、微流控芯片、微纳机器人等。
研究兴趣
论文共 164 篇作者统计合作学者相似作者
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Shenglin Ma,Guohui Fan,Feiya Xu,Xiaomeng Zhang, Yinong Chen,Yu Tao, Yishan Li, Yanshuang Lyu,Peiran Yang,Dingyi Wang,Zhenguo Zhai,Chen Wang
Thrombosis journalno. 1 (2024)
Kang Lin,Zhizhen Wang, Bin Yan, Yelei Xie,Jian Pang, Jianijun Sun, Xiong Xiao,Shenglin Ma, Xiandong Chen
2024 25th International Conference on Electronic Packaging Technology (ICEPT)pp.1-6, (2024)
MICROMACHINESno. 6 (2024)
crossref(2024)
Zile Huang, Weiyu Wang, Jiaming Xu,Songqing Zhao, Haiyan Chen,Binbin Chen,Chunquan Zhang,Shenglin Ma,Haisheng San
SCIENTIA SINICA Chimicano. 10 (2023): 2068-2078
Microelectronics Reliability (2023): 114957-114957
SCIENTIA SINICA Chimicano. 10 (2023): 1891-1905
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#Papers: 162
#Citation: 1095
H-Index: 21
G-Index: 27
Sociability: 6
Diversity: 3
Activity: 56
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合作机构
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