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Grid-supported EUV Pellicles: A Theoretical Investigation for Added Value
Florian Dhalluin,Laurens De Winter,Luigi Scaccabarozzi, Jack Van der Sanden, Sven Lentzen, Rob Van Gils, Maurice Bogers, Erik Ruinemans,Derk Brouns,Juan Diego Arias Espinoza,Maria Peter,Daniel Smith, Wim Van der Zande,Hans Vermeulen
Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE (2015)
引用8浏览0引用
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Apparatus for Monitoring a Lithographic Patterning Device
Luigi Scaccabarozzi,Vadim Yevgenyevich Banine, Bernardus Antonius Johannes Luttikhuis,Roelof Koole, Hendrikus Jan Wondergem, Petrus Carolus Johannes Graat
mag（2014）
引用23浏览0引用
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