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Resources from SPIE for Lithographers
Harry Levinson
Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrologyno. 01 (2024)
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Lithography in a quantum world
Harry J. Levinson
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICSno. SG (2023): SG0802-SG0802
引用2浏览0引用
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William H. Arnold: in Memoriam
Harry Levinson
Journal of micro-nanopatterning, materials, and metrologyno. 01 (2021)
引用0浏览0引用
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Projecting Euv Photo-Speeds For Future Logic Nodes
Mark Neisser,Harry J. Levinson
EXTREME ULTRAVIOLET (EUV) LITHOGRAPHY XI (2020)
引用4浏览0引用
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The Potential of EUV Lithography
Harry J. Levinson
35TH EUROPEAN MASK AND LITHOGRAPHY CONFERENCE (EMLC 2019) (2019)
引用9浏览0引用
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Current Challenges And Opportunities For Euv Lithography
Harry J. Levinson,Timothy A. Brunner
INTERNATIONAL CONFERENCE ON EXTREME ULTRAVIOLET LITHOGRAPHY 2018 (2018)
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