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Stephane Lariviere,Christopher J. Wilson, Bogumila Kutrzeba Kotowska,Janko Versluijs,Stefan Decoster,Ming Mao,Marleen H. van der Veen,Nicolas Jourdan,Zaid El-Mekki,Nancy Heylen,Els Kesters,Patrick Verdonck,Christophe Beral,Dieter Van den Heuvel,Peter De Bisschop,Joost Bekaert,Victor Blanco,Ivan Ciofi,Danny Wan,Basoene Briggs,Arindam Mallik,Eric Hendrickx,Ryoung-han Kim,Greg McIntyre,Kurt Ronse,Juergen Boemmels,Zsolt Tokei,Dan Mocuta
Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography IX (2018)
semanticscholar(2018)
引用0浏览0引用
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DESIGN-PROCESS-TECHNOLOGY CO-OPTIMIZATION FOR MANUFACTURABILITY XII (2018): 185-194
Joost Bekaert,Paolo Di Lorenzo,Ming Mao,Stefan Decoster,Stephane Lariviere,Joern-Holger Franke,Victor M. Blanco Carballo, Bogumila Kutrzeba Kotowska,Frederic Lazzarino,Emily Gallagher,Eric Hendrickx,Philippe Leray,R. Ryoung-han Kim,Greg McIntyre, Paul Colsters,Friso Wittebrood,Joep van Dijk,Mark Maslow,Vadim Timoshkov,Ton Kiers
Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE (2017)
Sandip Halder,Vincent Truffert, Diete Van Den Heuvel,Philippe Leray,Shaunee Cheng,Greg Mcintyre,Kaushik Sah, Jim Brown,Paolo Parisi,Marco Polli
mag(2015)
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