先后主持承担国家自然科学青年基金、面上项目，国家重点研发计划课题，国家“863”项目子课题，总装瓶颈项目子课题，教育部装备预研联合基金，上海市“浦江人才计划”项目，以及国家重点实验室开放基金等项目。

近年来，在微机电系统技术（MEMS）领域著名期刊和国际会议IEEE-JMEMS, Adv Mater, Nano Energy, Adv Energy Mater, JMM，Lab Chip, IEEE Trans. Electron Devices, Sensors and Actuators, IEEE MEMS, IEEE NEMS, TRANSDUCERS, IEEE SENSORS, μTAS等发表学术论文120多篇，获得授权中国发明专利20余项。多次担任IEEE INEC、IEEE NANO、IEEE NEMS、APCOT、IMCO、CSMNT等多个国际会议分会场主席及TPC成员，担任Micro and Nanosystems、Nonmanufacturing 以及《功能材料与器件学报》期刊编委。

目前为IEEE高级会员（IEEE Senior Member）、中国仪器仪表学会微纳器件及系统技术分会理事、中国微米纳米技术学会微纳机器人分会理事、中科院深圳先进技术研究院客座研究员、中国微米纳米技术学会（CSMNT）高级会员，2014年入选上海市“浦江人才计划”（A类），2016年获得上海市“技术发明一等奖”，2019年获得工信部“国防科技进步三等奖”。