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Growth of 150 mm 4H-SiC Epilayers with Low Surface Roughness by a Hot-Wall Reactor on 4° off- Axis Substrates
Guoguo Yan,Xingfang Liu,Wanshun Zhao,Lei Wang,Zhanwei Shen,Zhen Fu, Quan Zhang, Chao Xiao, Qiang Yin,Guosheng Sun,Yiping Zeng
2023 20th China International Forum on Solid State Lighting & 2023 9th International Forum on Wide Bandgap Semiconductors (SSLCHINA: IFWS)pp.10-13, (2023)
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