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A Unified TDDB Model for BEOL Dielectrics of Various Structures and Thick FEOL Dielectrics
Kenji Okada, Kei Date, Brian McGowan,Huai Huang,Ernest Wu, Niki Fokas, Claire Silvestre, Lili Cheng, Atsunobu Isobayashi,Tatsuya Usami, Akihisa Iwasaki, Noboru Takeuchi, Hiroshi Miki, Yasuhiro Isobe,Miaomiao Wang, Craig Child
IEEE Transactions on Electron Devicespp.1-8, (2024)
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Minimization of CNN Training Data by using Data Augmentation for Inline Defect Classification
Akihiro Fujishiro,Yoshikazu Nagamura,Tatsuya Usami,Masao Inoue
2020 International Symposium on Semiconductor Manufacturing (ISSM)pp.1-4, (2020)
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