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193 Lithography And Relacs(Tm) Processing For Beol Lithography
Ronald A Dellaguardia,Karen Petrillo,Jia Chen,Paul A Rabidoux,Timothy J Dalton,Steven J Holmes, L Hadel, Kathleen Ann Malone,Arpan P Mahorowala, Steven J Greco,Richard A Ferguson
OPTICAL MICROLITHOGRAPHY XIV, PTS 1 AND 2 (2001): 1029-1040
引用7浏览0引用
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When Is Bilayer Thin-Film Imaging Suitable: Comparison With Single Layer Resists
Scott Halle,Alan C Thomas, Michael D Armacost,Timothy J Dalton, Xiaochun Chen,Scott J Bukofsky, Oliver Genz, Z G Lu,Shahid Butt, Zheng Chen,Richard A Ferguson, Eric N Coker,Robert K Leidy,Qinghuang Lin,Arpan P Mahorowala,Katherina Babich,Karen Petrillo,Marie Angelopoulos, Mark Ignatowicz,Bang Bui
OPTICAL MICROLITHOGRAPHY XIV, PTS 1 AND 2 (2001): 970-981
引用8浏览0引用
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