研究兴趣

论文共 5 篇作者统计合作学者相似作者

按年份排序按引用量排序主题筛选期刊级别筛选合作者筛选合作机构筛选
时间
引用量
主题
期刊级别
合作者
合作机构
Massive Metrology Using Fast E-Beam Technology Improves OPC Model Accuracy by >2x at Faster Turnaround Time
Qian Zhao,Lei Wang, Jazer Wang,ChangAn Wang, Hong-Fei Shi, James Guerrero,Mu Feng,Qiang Zhang, Jiao Liang, Yunbo Guo,Chen Zhang,Tom Wallow,David Rio,Lester Wang, Alvin Wang,Jen-Shiang Wang,Keith Gronlund,Jun Lang,Kar Kit Koh,Dong Qing Zhang,Hongxin Zhang,Subramanian Krishnamurthy, Ray Fei, Chiawen Lin,Wei Fang,Fei Wang
METROLOGY, INSPECTION, AND PROCESS CONTROL FOR MICROLITHOGRAPHY XXXII (2018)
引用3浏览0引用
3
0
作者统计

#Papers: 5

#Citation: 17

H-Index: 3

G-Index: 4

Sociability: 4

Diversity: 0

Activity: 0

  • 合作者
  • 学生
  • 导师
暂无相似学者，你可以通过学者研究领域进行搜索筛选
数据免责声明
页面数据均来自互联网公开来源、合作出版商和通过AI技术自动分析结果，我们不对页面数据的有效性、准确性、正确性、可靠性、完整性和及时性做出任何承诺和保证。若有疑问，可以通过电子邮件方式联系我们：report@aminer.cn