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Within-Chip Bridged-Pattern Short Detection Using Spatially Distributed Kerf Test Structures in 7nm FinFET Technology
C.Y. Lin, A. Ogino, C.H. Lee, Y.S. Bang,B.W. Jeong, D.U. Choi, S. Wu, Y. Xin, B. Walsh, C. Manya,J. Sim,M. Angyal
2024 IEEE 33rd Microelectronics Design & Test Symposium (MDTS)pp.1-3, (2024)
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Design and Analysis of Discrete FET Monitors in 7nm FinFET Product for Robust Technology Validation
V. Vidya,N. Zamdmer, T. Mechler,K. Onishi,D. Chidambarrao,B. W. Jeong, Y. G. Ko, C. H. Lee,J. Sim,M. Angyal, E. Crabbe
2023 35th International Conference on Microelectronic Test Structure (ICMTS)pp.1-3, (2023)
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Contact Fail Monitoring with an Epi Resistance Test Structure for 7nm FinFET Product
C.H. Lee,B.W. Jeong, S. Wu,M. Kim,X. Chen,K. Onishi, C. Manya, L. Anastos,J. Sim,M. Angyal
2022 IEEE 34th International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS)pp.1-3, (2022)
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