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Journal of micro-nanopatterning, materials, and metrologyno. 04 (2023)
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2023 International Electron Devices Meeting (IEDM)pp.1-4, (2023)
EIWOS
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2023 7TH IEEE ELECTRON DEVICES TECHNOLOGY & MANUFACTURING CONFERENCE, EDTM (2023)
EIWOS
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PHOTOMASK TECHNOLOGY 2020 (2020)
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