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Timothee Choisnet, Abdelali Hammouti, Vincent Gagneur,Jerome Reche,Guido Rademaker,Guillaume Freychet, Guillaume Jullien,Julien Ducote,Patrice Gergaud,Delphine Le Cunff
Journal of micro-nanopatterning, materials, and metrologyno. 01 (2024)
Journal of micro-nanopatterning, materials, and metrologyno. 03 (2023)
Timothee Choisnet, Abdelali Hammouti, Vincent Gagneur,Jerome Reche,Guido Rademaker,Guillaume Freychet, Guillaume Jullien,Julien Ducote,Patrice Gergaud,Delphine Le Cunff
METROLOGY, INSPECTION, AND PROCESS CONTROL XXXVII (2023)
Thibaut Bourguignon, Bertrand Le Gratiet,Jonathan Pradelles,Sebastien Berard-Bergery,Guido Rademaker,Nicolas Posseme
37TH EUROPEAN MASK AND LITHOGRAPHY CONFERENCE (2022)
Metrology, Inspection, and Process Control XXXVI (2022)
Semiconductor science and technologyno. 12 (2022): 125014-125014
Metrology, Inspection, and Process Control for Semiconductor Manufacturing XXXV (2021)
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