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Yakov Enns,Sergei Timoshnev,Alexey Kazakin,Ksenia Shubina,Alexander Uvarov,Alexander Vorobyev,Ekaterina Nikitina, Andrey Mizerov,Valentina Andreeva, Elizaveta Fedorenko,Alexandra Koroleva,Evgeniy Zhizhin
Materials Science in Semiconductor Processing (2024): 108624
SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL (2024)
PHOTONICSno. 3 (2023)
ST PETERSBURG POLYTECHNIC UNIVERSITY JOURNAL-PHYSICS AND MATHEMATICSno. 1 (2023): 108-113
2023 International Conference on Electrical Engineering and Photonics (EExPolytech)pp.279-281, (2023)
ST PETERSBURG POLYTECHNIC UNIVERSITY JOURNAL-PHYSICS AND MATHEMATICSno. 3 (2023): 94-99
Alexey Kuznetsov,Eduard Moiseev,Artem N. Abramov,Nikita Fominykh,Vladislav A. Sharov,Valeriy M. Kondratev,Ivan I. Shishkin,Konstantin P. Kotlyar,Demid A. Kirilenko,Vladimir V. Fedorov,Svetlana A. Kadinskaya,Alexandr A. Vorobyev,Ivan S. Mukhin,Aleksey V. Arsenin,Valentyn S. Volkov,Vasily Kravtsov,Alexey D. Bolshakov
Smallno. 28 (2023)
Plasma chemistry and plasma processingno. 3 (2023): 697-707
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