Изучение Угловых Зависимостей Скоростей Ионно-Пучкового Распыления Металлов Для Синтеза Заготовок ФотошаблоновМ.С. Михайленко,А.Е. Пестов,А.К. Чернышев,Н.И. ЧхалоЖурнал технической физики（2023）引用 0|浏览2AI 理解论文溯源树样例生成溯源树，研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要
