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Study on Etch Characteristics of Magnetic Tunnel Junction Materials Using Rf-Biased H2/NH3 Reactive Ion Beam

Ye Eun Kim,Doo San Kim,Yun Jong Jang,Hong Seong Gil, Ho Seop Jeon,Jong Woo Hong,In Ho Kim, Cheol Kim, Jeong-Heon Park,Geun Young Yeom

Journal of vacuum science & technology A Vacuum, surfaces, and films（2023）

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