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Practical Reinforcement Learning for Adaptive Photolithography Scheduler in Mass Production
Eungjin Kim, Taehyung Kim, Dongcheol Lee, Hyeongook Kim, Sehwan Kim,Jaewon Kim, Woosub Kim, Eunzi Kim,Younggil Jin,Tae-Eog Lee
IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURINGno. 1 (2024): 16-26
引用0浏览0EIWOS引用
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P‐102: Explainable AI Approach for MOD Outliers in FAB to MOD Process
Sujin Park, Hye Won Choi, Tae-Jin Yim, Yunyoung Kyung,Younggil Jin,Jae-Won Kim
Digest of technical papersno. 1 (2023): 1564-1567
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P‐167: Autoencoder with Variables Added Model for Manufacturing Process Anomaly Detection Using Multivariate Time‐series Data that Minimizes Data Information Loss
Yunyoung Kyeong, Doyoon Kim, E. M. Kim, Sujin Park,Younggil Jin,Jae-Won Kim,Simon S. Woo
SID Symposium Digest of Technical Papersno. 1 (2023): 1587-1590
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Defect Detection and Cause Analysis on Display Electrostatic Chuck FAB Process Using Deep Learning Algorithms
Seo-Yeon Kim,Jiyoon Lee,Chunghyup Mok,Sanghoon Kim,Seokho Moon, Yunyoung Kyeong,Younggil Jin,Woojin Lee, Jongmyong Choi,Seoung Bum Kim
Daehan san'eob gonghag hoeji/Daehan saneop gonghak hoejino. 2 (2022): 151-162
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