基本信息
浏览量:51
职业迁徙
个人简介
超精密光学工程学术带头人,男,1966年1月生,博士,研究员,博士生导师,现任国家科技重大专项02专项首席科学家、中国科学院特聘研究员、《光学精密工程》编委、中国光学学会理事、吉林省光学学会秘书长。2000年获吉林省杰出青年基金资助、2005年获国务院政府特殊津贴、2006年获吉林省人才基金资助、2012年获“吉林省有突出贡献的中青年专业技术人才”称号、2013年获“吉林省拔尖创新人才”称号。主要从事超精密光学元件检测、紫外探测、信息安全等领域研究工作,并取得了突出成就。主持研制了我国首套NA 0.75 ArF光刻投影物镜,突破了制约我国高端光刻机发展的核心技术瓶颈,填补了国内空白。发表学术论文70余篇,获授权国家发明专利33项。
研究兴趣
论文共 116 篇作者统计合作学者相似作者
按年份排序按引用量排序主题筛选期刊级别筛选合作者筛选合作机构筛选
时间
引用量
主题
期刊级别
合作者
合作机构
Applied Opticsno. 29 (2022): 8624-8632
Applied Optics (2019): 3575-3581
加载更多
作者统计
#Papers: 116
#Citation: 701
H-Index: 14
G-Index: 23
Sociability: 5
Diversity: 3
Activity: 5
合作学者
合作机构
D-Core
- 合作者
- 学生
- 导师
数据免责声明
页面数据均来自互联网公开来源、合作出版商和通过AI技术自动分析结果,我们不对页面数据的有效性、准确性、正确性、可靠性、完整性和及时性做出任何承诺和保证。若有疑问,可以通过电子邮件方式联系我们:report@aminer.cn