多年从事半导体硅材料及硅基材料的制备技术和半导体杂质与缺陷行为研究，研究课题主要有大尺寸硅单晶生长数值模拟、大尺寸硅片的精密加工、半导体材料中的杂质和缺陷及其热演化特性、锗硅材料的制备、半导体材料的检测技术，先后承担和参与完成了国家863重大专项、国家科技重大专项、国际科技合作研究计划、国家自然科学基金及省部级科研课题10余项，取得了重要研究成果。曾获省部级科学技术奖2项，在Appl Phys Lett等国内外期刊上发表论文40余篇。