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Feature Extraction for Predictive Maintenance for Semiconductor Plasma Etching Equipment
Shota Umeda, Ryoji Asakura, Fumihiro Ga,Masahiro Sumiya
2023 62ND ANNUAL CONFERENCE OF THE SOCIETY OF INSTRUMENT AND CONTROL ENGINEERS, SICEpp.1146-1151, (2023)
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An Integrated Framework for Dynamic Manufacturing Planning to Obtain New Line Configurations*
Laxmi Poudel,Ilya Kovalenko,Ruijie Geng, Matsui Takaharu,Youichi Nonaka,Nakano Takahiro,Umeda Shota,Dawn M. Tilbury,Kira Barton
2022 IEEE 18th International Conference on Automation Science and Engineering (CASE) (2022)
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