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On-axis, Non-Contact Measurement of Glass Thicknesses and Airgaps in Optical Systems with Submicron Accuracy
Rainer Wilhelm,Alain Courteville,Fabrice Garcia, Francois de Vecchi
Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE (2007)
引用6浏览0引用
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Shape Measurements of A Segmented Mirror with Nanometer Accuracy: the Ape Internal Metrology
Rainer Wilhelm,Alain Courteville,Sebastien Estival,Alexis Bietti,Virginie Seiller,Frederic Gonte
Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE (2006)
引用2浏览0引用
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Contact-free on-axis metrology for the fabrication and testing of complex optical systems
Alain Courteville,Rainer Wilhelm,Marie Delaveau,Fabrice Garcia, François de Vecchi
Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering (2005): 319-330
引用8浏览0引用
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