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Hybrid CoWP/SiCN barriers integration using Hybrid Punch Through approach
Julie Guilan, Laurent Georges Gosset,Regis Delsol,Philippe Brun, Emmanuel Ollier, Emmanuel Petitprez, Valerie Girault,Raphael Gras,Joaquin Torres
ADVANCED METALLIZATION CONFERENCE 2007 (AMC 2007) (2008): 17-22
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Comparison Between Dielectric Properties of Airgap and ULK Interconnects
Cyril Guedj,Virginie Verriere, Frederic Gaillard,Raphael Gras,Eugenie Martinez, Marc Sabardeil, Jean Roux
Meeting abstracts/Meeting abstracts (Electrochemical Society CD-ROM)no. 28 (2008): 2075-2075
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Template synthesis of carbon nanotubes from porous alumina matrix on silicon
R. Gras,J. L. Duvail,T. Minéa,M. Dubosc,P. Y. Tessier, L. Cagnon, P. Coronel,J. Torres
Microelectronic Engineeringno. 11-12 (2006): 2432-2436
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