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In-Air Long-Range Environmental Temperature Sensing with A Single Scandium-Doped Aluminum Nitride pMUT Array
Mantalena Sarafianou,Daniel Ssu-Han Chen,David Sze Wai Choong,Duan Jian Goh,Jihang Liu,Srinivas Merugu,Qing Xin Zhang,Huamao Lin, Steven H. J. Lee,Peter H. K. Chang, Yee Lung Lee,Carlo L. Prelini, Filippo D’Ercoli, Dao Hao Sim,Alberto Leotti,Laura Castoldi,Domenico Giusti,Joshua E.-Y. Lee
2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers)pp.128-131, (2023)
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