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Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE (1995)
Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE (1994)
ELECTRON-BEAM, X-RAY, AND ION-BEAM SUBMICROMETER LITHOGRAPHIES FOR MANUFACTURING IV (1994): 95-105
Or Wood, Rm Dsouza,M Himel,Je Bjorkholm,K Early,La Fetter,Te Jewell, Dc Lee,Ar Neureuther,Dm Newmark,Aa Macdowell,L Eichner,Wk Waskiewicz,Dl White,Dl Windt, Dm Williamson,F Zernike
OSA PROCEEDINGS ON SOFT X-RAY PROJECTION LITHOGRAPHY (1993): 24-30
Surface Science Lettersno. 1-3 (1984): 14-18
BULLETIN OF THE AMERICAN PHYSICAL SOCIETYno. 3 (1981): 382-382
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