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Piezoelectric Layer Transfer Process for MEMS
Gwenael Le Rhun,Franklin Pavageau, Timothée Rotrou,Christel Dieppedale,Laurent Mollard
Eurosensors 2023no. 1 (2024): 114
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Enhanced 2D Beam Scanning: Optical-Phase-array on Piezo-Cantilever
Mollard Laurent,Fowler Daivid,Guerber Sylvain,Dieppedale Christel,Le Rhun Gwenael,Hamelin Antoine
2024 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN)pp.1-2, (2024)
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Biaxial Piezoelectric MEMS Mirrors with Low Absorption Coating for 1550 Nm Long-Range LIDAR
L. Mollard, J. Riu, S. Royo,C. Dieppedale, A. Hamelin,A. Koumela,T. Verdot, L. Frey,G. Le Rhun,G. Castellan, C. Licitra
MICROMACHINESno. 5 (2023)
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