基本信息
浏览量:9
职业迁徙
个人简介
主要从事射频等离子体物理过程及与材料相互作用的研究工作,是射频等离子体模拟和实验团队(PSEG,大连理工大学科技创新团队)的核心骨干成员。面向IC装备制造产业,采用实验诊断和数值仿真模拟的方法研究射频感应耦合等离子体刻蚀机、PECVD装备中的等离子体工艺腔室的放电机理。面向磁约束核聚变中性束注入系统中关键装备——大功率低气压射频感应耦合负氢离子源开展物理基础研究。作为负责人承担国家重点研发计划课题1项、国家自然科学基金面上项目2项、青年项目1项及其他纵向/横向课题若干项;并作为核心成员参与完成国家科技重大专项课题1项、ITER项目1项及国家自然科学基金重点项目等若干项。
研究方向
射频感性耦合等离子体物理
大功率负氢离子源物理
离子束与等离子体相互作用
高功率微波等离子体物理
研究方向
射频感性耦合等离子体物理
大功率负氢离子源物理
离子束与等离子体相互作用
高功率微波等离子体物理
研究兴趣
论文共 135 篇作者统计合作学者相似作者
按年份排序按引用量排序主题筛选期刊级别筛选合作者筛选合作机构筛选
时间
引用量
主题
期刊级别
合作者
合作机构
APPLIED PHYSICS LETTERSno. 6 (2024)
PHYSICS OF PLASMASno. 4 (2024)
crossref(2024)
FUSION ENGINEERING AND DESIGN (2024): 114104
PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGYno. 7 (2023): 075402-075402
PHYSICS OF PLASMASno. 6 (2023)
Yong Zhao,Shuo Wang,Wenhui Yu, Pengyu Long,Jinlong Zhang,Wentao Tian,Fei Gao,Zhuji Jin, Hongyu Zheng,Chunjin Wang,Jiang Guo
ACS applied materials & interfacesno. 32 (2023): 38956-38964
加载更多
作者统计
合作学者
合作机构
D-Core
- 合作者
- 学生
- 导师
数据免责声明
页面数据均来自互联网公开来源、合作出版商和通过AI技术自动分析结果,我们不对页面数据的有效性、准确性、正确性、可靠性、完整性和及时性做出任何承诺和保证。若有疑问,可以通过电子邮件方式联系我们:report@aminer.cn