基本信息
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职业迁徙
个人简介
研究方向:
微细加工技术
承担科研项目情况:
(1)“九五”国家重点科技攻关项目97-762“0.1-0.35微米集成电路关键技术研究”的子专题97-762-03 “先进的深亚微米工艺技术”;
(2)科学院重大创新方向性项目“电子束缩小投影光刻机(SCALPEL)”的子课题“投影电子束掩模研制”;
(3)科技部863项目“多传感器及阵列传感器集成”;
(4)科技部863项目“无掩模光刻系统”;
(5)科技部863项目;
(6)自然基金仪器专项“新型光学读出非制冷红外成像系统”;
(7)自然基金“悬臂梁微尖端阵列器件加工及应用技术研究”;
(8)中科院知识创新方向性项目。
微细加工技术
承担科研项目情况:
(1)“九五”国家重点科技攻关项目97-762“0.1-0.35微米集成电路关键技术研究”的子专题97-762-03 “先进的深亚微米工艺技术”;
(2)科学院重大创新方向性项目“电子束缩小投影光刻机(SCALPEL)”的子课题“投影电子束掩模研制”;
(3)科技部863项目“多传感器及阵列传感器集成”;
(4)科技部863项目“无掩模光刻系统”;
(5)科技部863项目;
(6)自然基金仪器专项“新型光学读出非制冷红外成像系统”;
(7)自然基金“悬臂梁微尖端阵列器件加工及应用技术研究”;
(8)中科院知识创新方向性项目。
研究兴趣
论文共 372 篇作者统计合作学者相似作者
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时间
引用量
主题
期刊级别
合作者
合作机构
IEEE Sensors Journalno. 6 (2023): 5593-5600
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERINGno. 3 (2023): 035007-035007
2022 IEEE 35TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS CONFERENCE (MEMS)pp.664-667, (2022)
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