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NIST efforts in extreme-ultraviolet metrology
C. Tarrio,S. Grantham,R. E. Vest,T. A. Germer,B. M. Barnes, S. L. Moffitt, B. J. Simonds,M. Spidell
International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2023 (2023)
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Measurements and model of UV-induced oxidation of aluminum
Robert F. Berg,Charles Tarrio,Thomas B. Lucatorto
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY Ano. 3 (2023)
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Thin Aluminum/Polyimide Optical Blocking Filter Study For The Lynx X-Ray Mission
Benjamin R. Zeiger,Charles Tarrio,Travis Ayers
UV, X-RAY, AND GAMMA-RAY SPACE INSTRUMENTATION FOR ASTRONOMY XXI (2019)
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6 A Optics Contamination
Charles Tarrio,Shannon B. Hill,Robert F. Berg
EUV Lithography, Second Edition (2018)
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