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Fine Pitch Nb-Nb Direct Bonding for Quantum Applications
Pablo Renaud,Christophe Dubarry,Nicolas Bresson,Edouard Deschaseaux,Frank Fournel,Christophe Morales,Karine Abadie,Candice Thomas,Jean Charbonnier
2024 IEEE 74th Electronic Components and Technology Conference (ECTC)pp.441-446, (2024)
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Vacuum Quality Impact on Covalent Bonding
Karine Abadie, Quentin Lomonaco,Laurent Michaud, Frank Fournel,Christophe Morales
ECS Transactionsno. 3 (2023): 125-137
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Infrared Spectroscopy Study of Edge Water Penetration at Hydrophilic Bonding Interface
Paul Noël,Vincent Larrey,Christophe Morales, F. Rieutord,Didier Landru,Frank Fournel
Meeting abstracts/Meeting abstracts (Electrochemical Society CD-ROM)no. 33 (2023): 1588-1588
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(First Best Paper Award) Vacuum Quality Impact on Covalent Bonding
Karine Abadie, Quentin Lomonaco,Laurent Gaëtan Michaud, Frank Fournel,Christophe Morales
Meeting abstracts/Meeting abstracts (Electrochemical Society CD-ROM)no. 33 (2023): 1600-1600
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Inline Bondwave Monitoring for Direct Bonding, Process Optimization and Impact on Post-Bond Distortion
Laurent Gaëtan Michaud, Frank Fournel,Christophe Morales, M. Schmidbauer,Karine Abadie,Thomas Plach,Markus Wimplinger
Meeting abstracts/Meeting abstracts (Electrochemical Society CD-ROM)no. 33 (2023): 1587-1587
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