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Impact of Nanosecond Laser Anneal on PVD Ru Films
D. Sil,Y. Sulehria,O. Gluschenkov,T. Nogami, R. Cornell,A. Simon, J. Li,J. Demarest,B. Haran,C. Lavoie,J. Jordan-Sweet,V Stanic, J. Liu,K. Huet,F. Mazzamuto
2021 IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC) (2021)
引用4浏览0EIWOS引用
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Electroless Deposition for Nanoscale Applications: Challenges and Opportunities
Eugene J. O'Sullivan, C Camagong,C. Lavoie,J. Jordan-Sweet,D. Muir,M Hopstaken,Mahadevaiyer Krishnan
ECS Meeting Abstractsno. 17 (2020): 1487-1487
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