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Power Measurement Analysis of Moderate Pressure Capacitively Coupled Discharges
Shadhin Hussain, Abhishek Verma,Kallol Bera,Shahid Rauf,Matthew Goeckner
Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Filmsno. 3 (2024)
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パルス容量結合高周波放電の再着火中のElectron動力学【JST・京大機械翻訳】
Hernandez Keith,J Overzet Lawrence,J Goeckner Matthew
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomenano. 3 (2020): 34005-34005
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