基本信息
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个人简介
主要研究方向为飞秒激光微纳制造。在激光超精细制备方法研究方面,提出了一种针对硬脆材料复杂三维微纳结构的飞秒激光湿法刻蚀微纳加工方法(Femtosecond laser wet etch),实现了高质量三维微光学器件的高效、高精度和低成本微纳制造,并在国际上率先利用飞秒激光实现了多种异型结构平面微光学阵列元件的超精细制作。利用飞秒激光湿法刻蚀技术,实现了仿生复眼结构微透镜阵列高效高质量制备。利用改进的飞秒激光湿法刻蚀工艺,实现了石英玻璃内部制备真三维微纳结构的高质量制备。在国际上率先制备出真三维电流传感器,同时在透明介质内部制备得到真三维微加热器,这些应用探索显示出飞秒激光湿法刻蚀工艺在制备真三维微流控芯片、微全分析系统等结构器件方面具有广阔的应用前景。目前已在国际重要学术期刊上发表SCI论文20余篇,获得专利5项,10余次国际及国内会议邀请报告及口头报告。担任Applied Physics Letters, Optics Letters, Optics Express等国际学术期刊审稿人。
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