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Laser Glass Deposition of Single-Mode Glass Fibers for the Fabrication of Chip-Scale Photonic Circuits

Florian Spengler, Sven-Olaf Waldhauer,Moritz Hinkelmann,Jörg Neumann,Stefan Kaierle,Dietmar Kracht

Procedia CIRP(2024)

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关键词
Laser Glass Deposition,On-Chip Waveguides,Laser-Based Cleaving,Photonic Integrated Circuits,CO2 Laser Welding
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