Path-finding for Integration of Robust Low-k (K-2.5) SiOCH in System LSI

Naoya Inoue,Makoto Ueki,Hironori Yamamoto,I. Kume,J. Kawahara,Manabu Iguchi, Hirokazu Honda,Horikoshi Yoshitaka,Y. Hayashi

IEICE Technical Report IEICE Tech Rep（2011）

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