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Effects of growth parameters on HfO2 thin-films deposited by RF Magnetron sputtering

M. Dhanunjaya,N. Manikanthababu,S. Ojha,Soodkhet Pojprapai,A.P. Pathak,S.V.S. Nageswara Rao

Radiation Effects and Defects in Solids（2022）

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关键词
rf magnetron,thin-films thin-films,growth parameters,hfo<sub>2</sub>
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