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Optimizing Ti/TiN Multilayers for UV, Optical and Near-IR Microwave Kinetic Inductance Detectors

Gerhard Ulbricht,Mario De Lucia,Jack Piercy,Oisín Creaner,Colm Bracken, Cáthal McAleer,Tom Ray

JOURNAL OF LOW TEMPERATURE PHYSICS（2024）

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关键词
Kinetic inductance detectors,UVOIR MKIDs,Detector fabrication
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