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Direct Laser Patterning of Ruthenium below the Optical Diffraction Limit

Lorenzo Cruciani,Marnix Vreugdenhil,Stefan van Vliet, Ester Abram,Dries van Oosten,Roland Bliem,Klaasjan van Druten,Paul Planken

APPLIED PHYSICS LETTERS（2024）

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关键词

Laser Ablation,Femtosecond Laser

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