Синтез И Исследование Пленок SiBCN, Полученных В Процессе Плазмохимического Осаждения Из Триэтиламинборана, Гексаметидисилазана И АммиакаЕ.Н. Ермакова,Е.А. Максимовский,А.Д. Федоренко,А.А. Шаповалова, Е.А. Хижняк,М.Л. КосиноваЖурнал структурной химии(2024)引用 0|浏览0暂无评分AI 理解论文溯源树样例生成溯源树,研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要