Microcontact Printing Fabrication of Diamond MEMS Cantilevers on Silicon Substrate
Diamond and Related Materials（2024）
关键词
Diamond film,Microcontact printing,micro electromechanical systems (MEMS),Vibrational properties
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要