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Transfer of III-nitride Epitaxial Layers Onto Pre-Patterned Silicon Substrates for the Simple Fabrication of Free-Standing MEMS

Rajat Gujrati, Ali Kassem,Cedric Ayela,Fabrice Mathieu,Liviu Nicu,Suresh Sundaram,Isabelle Dufour,William Hunt,Abdallah Ougazzaden,Jean-Paul Salvestrini,Thierry Leichle

APPLIED PHYSICS LETTERS（2024）

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关键词

MEMS,III-Nitrides

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