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Dynamics of Plasma in a Dual-Frequency Capacitive Discharge in an Ar/Xe Mixture

M. A. Bogdanova,D. G. Voloshin, A. V. Glotov,D. V. Lopaev,N. N. Sysoev,D. R. Shibanov

Seriya 3: Fizika, Astronomiya Vestnik Moskovskogo Universiteta, Seriya 3: Fizika, Astronomiya（2024）

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关键词
plasma,capacitive discharge,spectroscopy,Langmuir probe,hairpin probe
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