Lithium Niobate MEMS Antisymmetric Lamb Wave Resonators with Support Structures

Yi Zhang,Yang Jiang,Chuying Tang,Chenkai Deng,Fangzhou Du,Jiaqi He,Qiaoyu Hu,Qing Wang,Hongyu Yu,Zhongrui Wang

MICROMACHINES（2024）

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关键词

lithium niobate,acoustic resonators,A1 mode,spurious modes,power capacity

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