不同摩擦副条件下二硫化钼薄膜的摩擦学性能研究

为了研究MoS2-Ti薄膜与 9Cr18钢、W-DLC和DLC薄膜的摩擦学行为,分别采用磁控溅射技术和等离子体增强化学气相沉积技术在 9Cr18钢表面沉积了MoS2-Ti薄膜、W-DLC和DLC薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)、能量色散谱仪(EDS)和X射线衍射仪(XRD)研究了薄膜的表面形貌、化学成分和相组成.利用纳米压痕仪和球-盘摩擦试验机对不同薄膜的纳米硬度和摩擦学性能进行了分析.研究结果表明,MoS2-Ti薄膜与DLC薄膜的摩擦因数和磨损率最小.相比MoS2-Ti薄膜与不镀膜的 9Cr18钢球摩擦副,MoS2-Ti薄膜与W-DLC薄膜摩擦副的摩擦因数和磨损率没有减小.MoS2-Ti薄膜与W-DLC薄膜摩擦副的磨损机制为磨粒磨损和黏着磨损,与DLC薄膜摩擦副的磨损机制为黏着磨损.摩擦副表面沉积DLC薄膜有助于降低MoS2-Ti薄膜的摩擦因数和磨损率.