SiC的纳秒脉冲激光烧蚀特性

建立了纳秒脉冲激光烧蚀SiC的实验平台和激光烧蚀诱导等离子体的实验测量系统，并采用一维流体力学程序模拟了高功率激光烧蚀SiC的过程和烧蚀过程中产生等离子体射流的动力学过程，获得了纳秒激光对SiC的烧蚀规律，研究了激光烧蚀过程中产生的等离子体对烧蚀效率的影响。研究结果可为纳秒激光烧蚀材料的相关工程化应用提供参考。