Magnetron Sputter Deposition of Nanostructured AlN Thin Films
Applied nano（2023）
关键词
magnetron sputter deposition,aluminum nitride,nanostructures,glancing angle deposition,piezoelectric materials
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要
Applied nano（2023）