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Characterisation of Radio Frequency Plasmas in the Upgraded TOMAS Device

D. López-Rodríguez,K. Crombé,T. Wauters,A. Goriaev,J. Buermans,Yu. Kovtun,L. Dittrich,P. Petersson,S. Moon,M. Verstraeten,S. Möller

AIP conference proceedings（2023）

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关键词

Low Temperature Plasmas,Plasma Waves,Plasma Etching,Radiation Belts

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