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Beam power scale-up in MEMS based multi-beam ion accelerators

Qing Ji, KK Afridi, Timo Bauer,Grant Giesbrecht, Yu Hou,Amit K. Lal,Di Ni,A. Persaud, Zhongjun Qin,P.A. Seidl, Sitabhra Sinha,T. Schenkel

arXiv (Cornell University)（2021）

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关键词
mems,ion,multi-beam
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