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Sensitivity Analysis of PIC/MCC Simulation Results on the Parameters of a Realistic Model for Electron-Surface Interaction in Low-Pressure Capacitively Coupled Radio-Frequency Discharges

Aranka Derzsi, Benedek Horváth, Péter Hartmann, Z. Donkó,David Schulenberg, Ihor Korolov, Julian Schulze

APS Annual Gaseous Electronics Meeting Abstracts（2020）

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